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掃描電鏡(SEM)是如何檢測樣品信息的

 發(fā)布時間:2017/11/30 點擊量:2405
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掃描電鏡(SEM)是一種用途廣泛的科學儀器,它可以根據(jù)用戶的需求提供樣品不同類型的信息。在這里我們將闡述在掃描電鏡(SEM)中產(chǎn)生的不同類型的電子,它們是如何被檢測出來的,以及它們可以提供的信息等。

 

電子顯微鏡是通過電子束來成像的。在圖1中,您可以看到電子與物質(zhì)相互作用所產(chǎn)生的各種信號,所有這些不同類型的信號攜帶著關于樣品的不同的有用信息,由電子顯微鏡的操作人員根據(jù)需要選擇接收的信號。

 

例如在透射電鏡(TEM)中,正如它的名字所示,檢測到的信號是透過樣品的電子,會提供樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的信息。在掃描電鏡(SEM)下,通常需要檢測兩種類型的信號:背散射電子(BSE)和二次電子(SE)。

圖1:電子與物質(zhì)相互作用區(qū)域,產(chǎn)生不同類型的信號

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