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加速電壓在掃描電鏡中的作用

 發(fā)布時間:2017/12/27 點擊量:2023
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詳細介紹:

在進行掃描電鏡(SEM)分析時,為了獲得感興趣區(qū)域*的圖像效果,必須考慮一些重要的參數。其中一個很重要的參數就是加速電壓,它是加在電子槍的陰極和陽極之間,用來加速電子產生電子束的。加速電壓的選擇與樣品的導電性、放大倍數及圖片質量等因素有關。一般來說,加速電壓越高,圖像的分辨率越高。

 

在zui近幾年,掃描電鏡(SEM)廠商已經開始致力提高低電壓成像的分辨率。低電壓成像技術主要應用于生命科學領域,特別是在獲得諾貝爾獎的冷凍電鏡技術問世之后。這篇博客將集中討論加速電壓對分析圖像的影響。

 

加速電壓決定作用區(qū)域的大小

 

加速電壓是電子能量的象征,它決定了電子束與樣品之間的相互區(qū)大小。一般情況下,加速電壓越高,電子束在樣品表面穿透越深,作用區(qū)也就越大。

 

這意味著電子將在樣品中更深入地傳播,并在不同區(qū)域中產生信號。樣品的化學成分也會對作用區(qū)的大小產生影響:輕元素的核外電子層數較少,電子能量較低,這限制了其對入射電子的影響。因此與重元素的樣品相比,電子束對于輕元素樣品的穿透更深。

 

對輸出信號進行分析時,可以得到不同的結果。在臺式掃描電鏡中,通常檢測到三種信號:背散射電子(BSE)、二次電子(SE)和X射線。

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