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飛納臺(tái)式掃描電鏡人性化軟件操作界面

 更新時(shí)間:2018-09-25 點(diǎn)擊量:2418
   飛納臺(tái)式掃描電鏡人性化軟件操作界面  
   飛納臺(tái)式掃描電鏡采用整塊材質(zhì)中間掏空制成,從而在同類產(chǎn)品中具有好的束流穩(wěn)定性,受外界環(huán)境的干擾更小,保證高分辨率及獲得細(xì)節(jié)更加豐富的圖像,采用幾塊材質(zhì)拼接而成,受外界干擾較大,束流穩(wěn)定性 較差,自然其圖像性能也大受影響。 
   飛納臺(tái)式掃描電鏡主要是利用二次電子信號(hào)成像來(lái)觀察樣品的表面形態(tài),即用匯聚得很細(xì)小的電子束在樣品表面掃描,通過(guò)電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種信號(hào)(如二次電子信號(hào))來(lái)獲得材料表面細(xì)節(jié)信息。飛納臺(tái)式掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成。其中,電子光學(xué)系統(tǒng)又由電子槍、電磁透鏡、掃描線圈和樣品室等部件組成。工作時(shí),電子槍發(fā)射出的電子束被電磁透鏡匯聚成極細(xì)的 電子束,在樣品表面進(jìn)行掃描,激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子。二次電子由探測(cè)器收集,并被閃爍體轉(zhuǎn)變成光信號(hào)。
  二次電子產(chǎn)生的多少與樣品表面的形貌有關(guān)。樣品不同區(qū)域所激發(fā)出的二次電子的數(shù)量不同的,那么經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變成的電壓信號(hào)就有相應(yīng)的差別,反映在熒光屏上相應(yīng)部位也有或亮或暗的襯度差, 終得到一幅樣品表面放大的黑白圖像。分辨率較低的飛納臺(tái)式掃描電鏡的探測(cè)器一般位于電磁透鏡和樣品之間。在這種情況下,探測(cè)器和樣品的距離就比較近,樣品和透鏡的距離(工作距離)就比較遠(yuǎn)。事實(shí)上,飛納 臺(tái)式掃描電鏡的圖像分辨率與工作距離密切相關(guān),距離長(zhǎng)會(huì)導(dǎo)致圖像分辨率降低,而距離近則能提高圖像分辨率。
    為了提高飛納臺(tái)式掃描電鏡的圖像分辨率,就要盡可能地縮短樣品和透鏡之間的距離,采用的方法就是把探測(cè)器往電磁透鏡上方移。這樣,工作距離就可以縮得很短。2000年以后,工作距離更短、圖像分辨率更高 的場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡應(yīng)運(yùn)而生,并成為主流產(chǎn)品。而目前主流場(chǎng)發(fā)射飛納臺(tái)式掃描電鏡采用半浸沒(méi)式或全浸沒(méi)式電磁透鏡,也就是將探測(cè)器裝在電磁透鏡上方或者里面。
  探測(cè)器在樣品和電磁透鏡之間的鎢絲燈掃描電鏡設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,利用電場(chǎng)的作用來(lái)探測(cè)二次電子,只需要在探測(cè)器的前端加一個(gè)正電壓,探測(cè)器就可以將二次電子“吸過(guò)去”,收集起來(lái)。而場(chǎng)發(fā)射飛納 臺(tái)式掃描電鏡將探測(cè)器裝到電磁透鏡里面以后,雖然樣品和透鏡的距離拉近,但是探測(cè)器和樣品的距離卻變得更遠(yuǎn)了,收集二次電子的效率就會(huì)大大降低。
 

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